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[发明专利]基于次序物理沉积的压电厚膜制备方法及工业级压电厚膜-CN202210761175.9有效
发明人：孟德超;孙翔宇;陈余;徐驰;周泉丰 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于次序物理沉积的压电厚膜制备方法及工业级压电厚膜，包括确定需制备的压电厚膜的厚度；将压电厚膜拆分为厚膜主体和顶电极，并确定厚膜主体的厚度和顶电极的厚度；采用磁控溅射沉积法在基底上制备厚膜主体；厚膜主体制备完成后，以厚膜主体为基片，在厚膜主体上采用脉冲激光沉积法制备顶电极；获得所需的压电厚膜；本发明通过将需制备的压电厚膜拆分为厚膜主体和顶电极，并通过磁控溅射沉积法制备厚膜主体，通过脉冲激光沉积法制备顶电极，利用低成本磁控沉积法制备压电厚膜主体，然后利用高真空脉冲激光沉积法制备顶电极，实现压电薄膜大厚度、大尺寸和高性能的兼容。
基于次序物理沉积压电制备方法工业

[实用新型]真空镀膜用实时膜厚修正板-CN201420622836.0有效
发明人：张殷;邓琪;张小飞;王静辉;吕子啸 -专利权人：杰莱特（苏州）精密仪器有限公司
申请日： 2014-10-24 - 公布日： 2015-02-04 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种真空镀膜用实时膜厚修正板，它属于光学真空镀膜实时膜厚修正的设备。本实用新型主要是解决现有的膜厚修正板存在的镀膜材料浪费大、镀膜不均匀和产品质量差的技术问题。本实用新型采用的技术方案是：真空镀膜用实时膜厚修正板，它包括膜厚修正板支架，其中：它还包括旋转膜厚修正板、旋转装置和固定膜厚修正板，固定膜厚修正板设在膜厚修正板支架的一边，在固定膜厚修正板上设有能使旋转膜厚修正板旋转的回转导轨，旋转膜厚修正板设在固定膜厚修正板的上面并使设置在旋转膜厚修正板上的导柱位于回转导轨中，旋转装置设在固定膜厚修正板上并位于旋转膜厚修正板的一侧。
真空镀膜实时修正

[实用新型]一种电池包厚膜加热系统-CN202021837669.3有效
发明人：江龙超;卫云峰;张兆宏;李晶 -专利权人：芜湖天量电池系统有限公司
申请日： 2020-08-28 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： H01M10/615 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电池包厚膜加热系统，其特征在于：包括若干带有厚膜加热的电芯及包含温度控制的电池控制系统从控，所述带有厚膜加热的电芯包括电芯及厚膜加热底片，厚膜加热底片贴合在电芯的底部，厚膜加热底片上设有导线，相邻电芯底部的厚膜加热底片相互串联后与电池控制系统从控连接。厚膜加热底片包括PI膜、PTC柔性电路层和厚膜加热层，PTC柔性电路层与厚膜加热层由两层PI膜热压密封构成厚膜加热底片，连接更稳固，结构更轻薄。PTC柔性电路层与厚膜加热层上均设有导线与外部电路连接。PTC柔性电路层设置在厚膜加热层的上方，PTC柔性电路层更靠近电芯的底部，PTC柔性电路层能及时感应厚膜加热的温度，避免厚膜电路温度过高对电芯造成伤害。
一种电池包厚膜加热系统

[发明专利]涂膜形成的方法-CN97122827.2有效
发明人：菅原胜也;多田俊文;田中正隆;平松骁 -专利权人：日本油漆船舶漆株式会社
申请日： 1997-10-31 - 公布日： 2002-01-09 - 主分类号： B05D7/14 文献下载
摘要：本发明的涂膜形成方法是，在被涂饰物上大致均匀地形成具有100μm以上的目标干燥膜厚的涂膜，它使用基于涂料固体成分的着色颜料含量为0．01—3％（容量）的涂料作为膜厚判定涂料，并且调整上述膜厚判定涂料中的着色颜料的含量，以满足下列条件（a）膜厚判定涂料与被涂饰物的色差为20以上；（b）目标干燥膜厚的涂膜与干燥膜厚不到（目标干燥膜厚－50）μm的涂膜的色差是2以上；（c）目标干燥膜厚的涂膜与干燥膜厚超过（目标干燥膜厚＋50）μm的涂膜的色差是1以下。
形成方法

[发明专利]渐变色镀膜机的镀膜质量控制方法-CN201911278479.4在审
发明人：黄乐;孙桂红;黄国兴;祝海生 -专利权人：湘潭宏大真空技术股份有限公司
申请日： 2019-12-13 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明公开了一种渐变色镀膜机的镀膜质量控制方法，镀膜机设有膜厚仪，所述膜厚仪包括晶振探头和膜厚控制仪主机，晶振探头固定在工件转架的侧面，所述膜厚仪实时监测膜厚，每层镀膜后，如果膜厚仪检测到膜厚小于预设膜厚，则继续进行同色系溅射；如果膜厚仪检测出膜厚在预设膜厚的范围内，则进行下一层的镀膜。本发明提供渐变色镀膜机的镀膜质量控制方法，更精确的监测膜厚，并且实时反馈检测数据，进行随时修正，提高镀膜的质量。
渐变镀膜质量控制方法

[发明专利]研磨装置及研磨状态监视方法-CN201410330519.6有效
发明人：小林洋一;渡边和英;盐川阳一;八木圭太;木下将毅 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2014-07-11 - 公布日： 2018-08-07 - 主分类号： B24B37/04 文献下载
摘要：一种研磨装置，具有：对处于静止状态的基板的膜厚进行测量的在线型膜厚测量器(80)；以及具有配置在研磨台(30A)内的膜厚传感器(40)的原位分光式膜厚监视器(39)。原位分光式膜厚监视器(39)，从研磨基板前由在线型膜厚测量器(80)取得的初期膜厚中，减去研磨基板前由原位分光式膜厚监视器(39)取得的初期膜厚，由此确定补正值，对研磨基板中取得的膜厚加上补正值，由此取得监视膜厚，基于监视膜厚而监视基板的研磨进度。
研磨装置状态监视方法

[发明专利]研磨装置及研磨状态监视方法-CN201810707673.9有效
发明人：小林洋一;渡边和英;盐川阳一;八木圭太;木下将毅 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2014-07-11 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： B24B37/04 文献下载
摘要：一种研磨装置，具有：对处于静止状态的基板的膜厚进行测量的在线型膜厚测量器(80)；以及具有配置在研磨台(30A)内的膜厚传感器(40)的原位分光式膜厚监视器(39)。原位分光式膜厚监视器(39)，从研磨基板前由在线型膜厚测量器(80)取得的初期膜厚中，减去研磨基板前由原位分光式膜厚监视器(39)取得的初期膜厚，由此确定补正值，对研磨基板中取得的膜厚加上补正值，由此取得监视膜厚，基于监视膜厚而监视基板的研磨进度。
研磨装置状态监视方法

[实用新型]一种汽车发电机调节器的厚膜贴装及下压治具-CN201620753012.6有效
发明人：白延鹤 -专利权人：江苏云意电气股份有限公司
申请日： 2016-07-18 - 公布日： 2017-02-15 - 主分类号： B32B37/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种汽车发电机调节器的厚膜贴装及下压治具，包括盛放厚膜托盘、厚膜、散热板、转盘、打胶的三轴机械手、贴厚膜的三轴机械手、压厚膜模块，其特征在于在盛放厚膜托盘里装有厚膜，在打胶的三轴机械手、贴厚膜的三轴机械手和压厚膜模块下方中间部位装有转盘，在转盘上设有散热板限位治具，在散热板限位治具上装有散热板，在贴厚膜的三轴机械手上设有贴厚膜的吸嘴，在打胶的三轴机械手上装有打胶阀。其优点是该厚膜贴装及下压治具贴厚膜的位置准确，能精确控制压厚膜的压力，一致性良好，而且效率更高。
一种汽车发电机调节器厚膜贴装下压

[发明专利]厚膜混合电路结构及制造方法-CN201210365338.8无效
发明人：黄洪光;李顺隆 -专利权人：国碁电子（中山）有限公司
申请日： 2012-09-27 - 公布日： 2014-04-02 - 主分类号： H01L27/01 文献下载
摘要：一种厚膜混合电路结构，包括第一厚膜基板、第二厚膜基板、芯片及封胶体。所述第二厚膜基板堆叠于所述第一厚膜基板之上并与所述第一厚膜基板电性连接。所述第二厚膜基板设有镂空区，所述芯片通过所述封胶体固封于所述第二厚膜基板之镂空区内并与所述第一厚膜基板电性连接。本发明提供的厚膜混合电路结构可有效避免两层厚膜电路之间短路的形成，且使各层电路之间的信号互不干扰，提高信号的质量。本发明还揭示一种厚膜混合电路结构制造方法，制程简单，制造成本低。
混合电路结构制造方法

[实用新型]设置有孔道的厚膜电路芯片热源-CN201720792728.1有效
发明人：王克政;王晨 -专利权人：佛山市海辰科技有限公司
申请日： 2017-07-03 - 公布日： 2018-01-12 - 主分类号： H05B3/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种设置有孔道的厚膜电路芯片热源，其包括基板，其内部集成地设置有至少一组孔道；依次设置在所述基板表面的厚膜介质层和厚膜电路层；所述厚膜电路层包括至少一个预定功能厚膜电路和至少一个厚膜电极，所述至少一个预定功能厚膜电阻电路适于提供至少一个预定热源温度；所述预定功能厚膜电路包括厚膜电阻。本实用新型提供的厚膜电路芯片热源在基板中集成地设置适于流体通过的孔道，提高了厚膜电路芯片热源的热效率。
设置孔道电路芯片热源

[实用新型]一种压边测温厚膜加热器-CN201720212949.7有效
发明人：吴鹿生 -专利权人：浙江安扬新能源科技有限公司
申请日： 2017-03-07 - 公布日： 2017-09-26 - 主分类号： H05B3/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种压边测温厚膜加热器，包括上厚膜加热板与下厚膜加热板，上厚膜加热板设置在下厚膜加热板上，上厚膜加热板与下厚膜加热板之间设有空隙，上厚膜加热板上设有上U型条，下厚膜加热板的下部设有下U型条，上厚膜加热板与下厚膜加热板之间设有U型方管，U型方管设置在上厚膜加热板与下厚膜加热板之间的边缘位置；上U型条的两端下部设有第一卡槽，上厚膜加热板的两侧设有凸沿，第一卡槽卡接在凸沿位置，下U型条的两端上部设有第二卡槽，下厚膜加热板的两侧设有凹沿，第二卡槽卡接在凹沿位置。本实用新型通过U型方管可以方便对上厚膜加热板与下厚膜加热板的边缘位置进行牢固安装，方便实现加热。
一种测温加热器

[发明专利]厚膜电阻阻值控制方法-CN201210377112.X有效
发明人：尤广为;邹建安;符宏大;鲍秀峰 -专利权人：华东光电集成器件研究所
申请日： 2012-10-08 - 公布日： 2013-02-06 - 主分类号： H01C17/065 文献下载
摘要：本发明涉及一种厚膜电阻阻值控制方法，包括以下步骤：（1）、当厚膜电阻版图设计长度方向与刮板运行方向相一致时，将厚膜电阻阻值按照设计值减小2.5%进行设计；当厚膜电阻版图设计长度方向与刮板运行方向相垂直时，将厚膜电阻阻值按照设计值增大2.5%进行设计；（2）、当周围加厚膜层厚度分别在20μm～30μm、30μm～40μm以及40μm～60μm范围时，厚膜电阻阻值按照设计值分别增大5%、10%以及15%进行设计；（3）、通过调整电阻膜厚来控制厚膜电阻阻值，按以下公式进行调整：标称方阻值/实际方阻值=实际电阻膜厚/标准电阻膜厚。本发明优点在于：一是控制住厚膜电阻一致性，保证了厚膜电阻质量；二是避免试阻样品浪费，提高了厚膜电路成膜基板加工成品率；三是节约大量试阻时间，提高了厚膜电路成膜基板生产效率。
电阻阻值控制方法

[实用新型]一种固定长度可调厚膜加热器-CN201720211970.5有效
发明人：吴鹿生;董志超;钱建伟;谢江西 -专利权人：浙江安扬新能源科技有限公司
申请日： 2017-03-06 - 公布日： 2017-09-26 - 主分类号： H05B3/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种固定长度可调厚膜加热器，包括厚膜加热器与下U型盖板，厚膜加热器包括上厚膜加热板与下厚膜加热板，上厚膜加热板设置在下厚膜加热板上，下U型盖板上设有上U型盖板，上厚膜加热板与下厚膜加热板的一端为自由端，上厚膜加热板与下厚膜加热板的另一端设置在下U型盖板与上U型盖板的端部之间，下U型盖板与上U型盖板的端部设有侧盖板；上U型盖板与下U型盖板之间设有引线板；引线板的端部与上厚膜加热板连接，上厚膜加热板与下厚膜加热板通过导线串联；上厚膜加热板与下厚膜加热板之间设有绝缘片。
一种固定长度可调加热器

[发明专利]真空镀膜用实时膜厚修正板及其控制方法-CN201410577335.X有效
发明人：张殷;邓琪;张小飞;王静辉;吕子啸 -专利权人：杰莱特（苏州）精密仪器有限公司
申请日： 2014-10-24 - 公布日： 2015-01-28 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种真空镀膜用实时膜厚修正板及其控制方法。本发明主要是解决现有的膜厚修正板存在的镀膜材料浪费大、镀膜不均匀和产品质量差的技术问题。本发明的技术方案是：真空镀膜用实时膜厚修正板，它包括膜厚修正板支架，其中：它还包括旋转膜厚修正板、旋转装置和固定膜厚修正板，固定膜厚修正板设在膜厚修正板支架的一边，在固定膜厚修正板上设有回转导轨，旋转膜厚修正板设在固定膜厚修正板的上面并使设置在旋转膜厚修正板上的导柱位于回转导轨中，旋转装置设在固定膜厚修正板上并位于旋转膜厚修正板的一侧。其控制方法是实时比较主监控点与辅助监控点的镀膜速率，在保证主监控点镀膜速率稳定的条件下实现快速实时膜厚分布的修正。
真空镀膜实时修正及其控制方法

[实用新型]一种双面发热厚膜加热器-CN201720207993.9有效
发明人：吴鹿生 -专利权人：浙江安扬新能源科技有限公司
申请日： 2017-03-06 - 公布日： 2017-09-26 - 主分类号： H05B3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双面发热厚膜加热器，包括厚膜加热器主体，厚膜加热器主体包括由不锈钢材料制成的厚膜加热壳，厚膜加热壳上设有若干弯折部，厚膜加热壳的侧壁设有焊缝；厚膜加热壳的端部设有法兰盖，法兰盖上设有绝缘引线盖，绝缘引线盖的轴中心位置为开孔结构；厚膜加热壳内设有上绝缘固定夹与下绝缘固定夹；上绝缘固定夹与下绝缘固定夹对接；厚膜加热壳的一端内部设有引出线焊盘，厚膜加热壳的另一端内部设有厚膜焊盘，厚膜焊盘与厚膜加热壳的内侧壁之间设有连接弹簧本实用新型采用焊缝与弯折部可以实现厚膜加热壳的一板多面发热，扩大了发热面积，提高了发热效率。
一种双面发热加热器

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